2022-11-04 13:38:48
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把天然钻石、HPHT 钻石和 CVD 钻石作为微波等离子化学气相沉积 (MPCVD)方法生长钻石的晶体种子。通过FTIR、拉曼光谱、光致发光光谱、XRD和AFM对晶种生长的钻石进行表征。
结果表明,天然金刚石为IaAB型,其晶向很独特,内应力和结晶质量差异较大。 HPHT和CVD金刚石分别为Ib型和Ⅱa型,角度偏差1-2.5度,晶体结构较好,更适合CVD生长内应力和结晶质量变化不大的单晶金刚石。
天然 IaAB 晶种上生长的金刚石层为多晶,晶格失配严重,微晶石墨和无定形碳杂质较多,而 HPHT Ib 型晶种和 CVD Ⅱa 型晶种上生长的金刚石层均较高质量。
此外,CVD晶种上生长的金刚石层具有较窄的拉曼峰半高宽和较低的非金刚石碳杂质含量,表明其比HPHT晶种上生长的金刚石层具有更好的结晶质量。
Z轴系统:MPCVD 设备稳定生产的关键
微波等离子体化学气相沉积技术,是目前行业内生产高品质金刚石的主流方法。设备运行时,会先将反应腔体抽成真空状态,严格保证腔体内部密封不透气。随后,微波设备释放能量,同时向腔体内通入专用的混合反应气体,在能量作用下形成稳定的等离子体区域。这些高活性的等离子体,会为金刚石生长提供稳定的热量与反应条件,让金刚石在籽晶基材上缓慢、均匀地结晶生长。 这种生产方式无额外污染,等离子体纯净度高,生长过程温和稳定,不会损伤已成型的金刚石晶体,因此被广泛用于工业金刚石、半导体散热材料、高端培育钻石等多种产品的生产制造。
如何选择适合的MPCVD设备?
在工业生产、半导体散热、精密刀具、培育钻石等众多领域,MPCVD设备都是非常关键的装备。选对设备,不仅能提高生产效率、稳定产品品质,还能有效控制长期成本,让整个生产流程更顺畅、更有竞争力。很多朋友在选型时都会纠结:到底该怎么选?今天结合我们海光智能多年的行业经验,和大家分享一套实用、易懂的选型思路。
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