2022-11-04 13:38:48
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把天然钻石、HPHT 钻石和 CVD 钻石作为微波等离子化学气相沉积 (MPCVD)方法生长钻石的晶体种子。通过FTIR、拉曼光谱、光致发光光谱、XRD和AFM对晶种生长的钻石进行表征。
结果表明,天然金刚石为IaAB型,其晶向很独特,内应力和结晶质量差异较大。 HPHT和CVD金刚石分别为Ib型和Ⅱa型,角度偏差1-2.5度,晶体结构较好,更适合CVD生长内应力和结晶质量变化不大的单晶金刚石。
天然 IaAB 晶种上生长的金刚石层为多晶,晶格失配严重,微晶石墨和无定形碳杂质较多,而 HPHT Ib 型晶种和 CVD Ⅱa 型晶种上生长的金刚石层均较高质量。
此外,CVD晶种上生长的金刚石层具有较窄的拉曼峰半高宽和较低的非金刚石碳杂质含量,表明其比HPHT晶种上生长的金刚石层具有更好的结晶质量。
MPCVD 单晶金刚石晶片:从气相沉积到成品晶片完整加工流程解析
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